本文源自:金融界

金融界2025年6月28日消息，國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，揚(yáng)州澤旭電子科技有限責(zé)任公司申請一項(xiàng)名為“一種半導(dǎo)體加工用晶圓缺陷檢測設(shè)備”的專利，公開號(hào)CN120213966A，申請日期為2025年04月。

專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體加工用晶圓缺陷檢測設(shè)備，本發(fā)明涉及晶圓缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域。包括檢測箱和開設(shè)在其正面上的操作窗口，通過圍繞轉(zhuǎn)盤設(shè)置晶圓清洗機(jī)構(gòu)、晶圓干燥機(jī)構(gòu)和一號(hào)缺陷檢測機(jī)構(gòu)以及二號(hào)缺陷檢測機(jī)構(gòu)，在轉(zhuǎn)盤攜帶晶圓夾持機(jī)構(gòu)進(jìn)行圓周轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠利用晶圓清洗機(jī)構(gòu)、晶圓干燥機(jī)構(gòu)依次對(duì)待檢測晶圓進(jìn)行清洗、干燥，形成，并利用一號(hào)缺陷檢測機(jī)構(gòu)以及二號(hào)缺陷檢測機(jī)構(gòu)對(duì)清洗、干燥后的晶圓進(jìn)行雙面缺陷檢測，從而完成對(duì)晶圓清洗、干燥、雙面檢測的自動(dòng)化晶圓缺陷檢測流程，使得晶圓清洗、干燥和檢測被集成在同一檢測設(shè)備中，期間無需人工干預(yù)，從而降低人工成本，提高了晶圓缺陷檢測的效率，能夠適用于晶圓批量檢測。

天眼查資料顯示，揚(yáng)州澤旭電子科技有限責(zé)任公司，成立于2013年，位于揚(yáng)州市，是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本500萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，揚(yáng)州澤旭電子科技有限責(zé)任公司專利信息35條。